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J-GLOBAL ID：200902091133485829   Reference number：86A0002563

Electron bombardment type micro ion source.

電子衝撃型マイクロイオン源

Author (3)： NODA TAMOTSU (豊橋技科大工) ,  OKUTANI TSUYOSHI (豊橋技科大工) ,  TAMURA HIFUMI (日立中研)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 54  Issue： 9  Page： 935-939  Publication year： Sep. 1985 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： liquid metal ,...

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JST classification (1)： Electron and ion sources  (BD02020U)

Reference (11)：

• 1) G. Taylor: Proc. R. Soc. London A 280 (1964) 383.
• 2) L. W. Swanson and G. A. Schwind: J. Appl. Phys. 49 (1978) 5655.
• 3) R. Gomer: J. Appl. Phys. 19 (1979) 365.
• 4) D. R. Kingham: Surf. Sci. 116 (1982) 273.
• 5) R. L. Seliger, J. W. Ward, V. Wang and R. L. Kubena: Appl. Phys. Lett. 34 (1979) 310.

Terms in the title (2)： 電子衝撃 ,  イオン源