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J-GLOBAL ID：200902093372212900   Reference number：88A0331373

Photo-resist material and process for Photo-Fabrication.

フォトファブリケーションのレジスト材料とプロセス

Author (1)： HASHIMOTO YOSHIO (大日本印刷 ミクロ製品研)
Material： 日本印刷学会誌  (Journal of Printing Science and Technology)
Volume： 25  Issue： 3  Page： 133-143  Publication year： Apr. 1988 
JST Material Number： G0233A  ISSN： 0914-3319  CODEN： NIGAEV  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： metal plate ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (47)：

• 1) 橋本貴夫: “図解・フォトファブリケーション” 総合電子出版社, pp. 15-238 (1986).
• 2) 佐藤敏一: “金属エッチング技術” 槙書店, pp. 68-223 (1975).
• 3) “印刷工学便覧” 日本印刷学会, 技報堂出版, pp. 1143-1164 (1983).
• 4) 楢岡清威: “エレクトロニクスの精密微細加工” 総合電子出版社, pp. 64-133 (1983).
• 5) 鳳紘一郎: “半導体リソグラフィ技術” 産業図書, pp. 1-14 (1986).

Terms in the title (3)： フォトファブリケーション ,  レジスト材料 ,  プロセス