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J-GLOBAL ID：200902093904607096   Reference number：92A0199451

Textured diamond growth on (100) β-SiC via microwave plasma chemical vapor deposition.

マイクロ波プラズマ化学蒸着によるβ-SiC上への組織状ダイアモンド成長

Author (2)： STONER B R (North Carolina State Univ., North Carolina) ,  GLASS J T (North Carolina State Univ., North Carolina)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 60  Issue： 6  Page： 698-700  Publication year： Feb. 10, 1992 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： diamond ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  SiC ,  組織 ,  ダイアモンド ,  成長