Art

J-GLOBAL ID：200902096607986419   Reference number：93A0143653

Silicon-based chlorine sensor with on-wafer deposited chemically anchored diffusion membrane. Part I. Basic sensor concept.

オンウエハ析出化学固定拡散膜をもつけい素ベース塩素センサ I センサの基本概念

Author (6)： VAN DEN BERG A (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE) ,  KOUDELKA-HEP M (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE) ,  VAN DER SCHOOT B H (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE) ,  DE ROOIJ N F (Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE) ,  VERNEY-NORBERG E (Groupe Lyonnaise des Eaux, Ecully, FRA) ,  GRISEL A (Microsens S.A., Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
Material： Analytica Chimica Acta  (Anal Chim Acta)
Volume： 269  Issue： 1  Page： 75-82  Publication year： Nov. 02, 1992 
JST Material Number： A0394A  ISSN： 0003-2670  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： chemical sensor ,...
Semi thesaurus term： methacrylic acid ,...

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JST classification (1)： Analytical instruments  (CC02020S)

Terms in the title (6)： 析出 ,  化学 ,  拡散 ,  けい素 ,  塩素 ,  概念