Art

J-GLOBAL ID：200902098588264540   Reference number：89A0010150

Ripple of electron temperature in r. f. plasmas.

r.f.プラズマにおける電子温度のリップル

Author (3)： TAKEDA S (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  HAYASHI Y (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  MORI H (Chubu Univ., Kasugai, JPN)
Material： Journal of the Physical Society of Japan  (JPSJ)
Volume： 57  Issue： 9  Page： 3036-3042  Publication year： Sep. 1988 
JST Material Number： G0509A  ISSN： 0031-9015  CODEN： JUPSA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron temperature ,...

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JST classification (1)： Plasma in general  (BJ02010B)

Reference (9)：

• 1) S. C. Brown: Introduction to Electrical Discharges in Gases (1966) Chap. 14, p. 226.
• 2) G. de Rosny et al.: J. Appl. Phys. 54 (1983) 2272.
• 3) R. A. Gottscho et al.: J. Appl. Phys. 55 (1984) 2707.
• 4) P. Bletzinger and C. A. DeJoseph, Jr: IEEE Trans. Plasma Sci. PS-14 (1986) 124.
• 5) G. A. Hebner and J. T. Verdeyen: IEEE Trans. Plasma Sci. PS-14 (1986) 132.

Terms in the title (2)： プラズマ ,  電子温度