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J-GLOBAL ID：200902099235757581   Reference number：87A0302259

Bimorph-driven x-y-z translation stage for scanned image microscopy.

機械的走査イメージ顕微鏡法のバイモルフ駆動x-y-z並進ステージ

Author (4)： MATEY J R (RCA Lab., NJ, USA) ,  CRANDALL R S (RCA Lab., NJ, USA) ,  BRYCKI B (RCA Lab., NJ, USA) ,  BRIGGS G A D (Oxford Univ., GBR)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 58  Issue： 4  Page： 567-570  Publication year： Apr. 1987 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： microscope ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (2)： Other laboratory techniques and instrumentation systems in physics  (BA02080Z) ,  Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (6)： 走査 ,  イメージ ,  顕微鏡法 ,  バイモルフ ,  並進 ,  ステージ