Art

J-GLOBAL ID：200902099921879685   Reference number：90A0034175

An active Air Journal Bearing.

ジャーナル型アクティブエアベアリング ラジアル方向2自由度の制御

Author (3)： HORIKAWA O (東京工大 大学院) ,  OSADA HIDEHARU (東京工大 精密工研) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大 精密工研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 55  Issue： 11  Page： 2063-2068  Publication year： Nov. 1989 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： system characteristic ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Bearings  (QB01020W)

Reference (4)：

• 1) 渡辺一郎, 青山尚之, 下河辺 明 : 能動空気軸受-浮上方向の位置と振動の超精密制御-, 精密工学会誌, 54, 2 (1988) 329.
• 2) 松本秀樹, 山口城治, 青山尚之, 下河辺 明 : 超高精度直線運動機構 (第2報) -5自由度の制御-, 精密工学会誌, 54, 10 (1988) 1945.
• 3) オズワルド ホリカワ, 安原健二, 長田秀治, 下河辺 明 : アクティブエアベアリングの動剛性制御, 精密工学会誌, 55, 3 (1989) 569.
• 4) 金井 彰, 野口国男, 岡田 隆, 宮下政和 : 回転振れ補正機構を持つ高精度回転軸系の開発 (第4報) -繰り返し計測による回転振れ自動補正のアルゴリズム-, 昭和63年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1988) 937.

Terms in the title (3)： ジャーナル ,  ラジアル方向 ,  2自由度