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J-GLOBAL ID：200902100231164835   Reference number：95A0449895

Submicron fabrication techniques using electro-chemical effects and application to unidirectional SAW transducers.

電気化学効果を利用するサブミクロン製造技術と一方向SAWトランスデューサへの応用

Author (4)： ODAGAWA H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TANAKA N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MEGURO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAMANOUCHI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. Ultrasonics Symposium)
Volume： 1994  Issue： Vol 1  Page： 437-440  Publication year： 1994 
JST Material Number： A0437C  ISSN： 1051-0117  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： surface acoustic wave device ,...

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JST classification (2)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N) ,  Surface acoustic wave devices  (NC03120T)

Terms in the title (5)： 電気化学 ,  サブ ,  SAW ,  トランスデューサ ,  応用