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J-GLOBAL ID：200902100533769698   Reference number：96A0293259

Angle Sensor with STM. (1st Report). Error Analysis and Pitch Measurement with Two STM Tips.

STMを用いた超精密角度センサ (第1報) 誤差解析とピッチング測定

Author (2)： SAKUTA SHIGERU (東芝 生産技研) ,  YOUCEF-TOUMI K (MIT, MA, USA)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 62  Issue： 3  Page： 403-407  Publication year： Mar. 1996 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： angle measurement ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (7)：

• BINNIG, G. Scanning Tunneling Microscopy. Surf. Sci. 1983, 126, 236
• 安達正明. 上下振動の影響を受けない高精度粗さ測定法(第2報). 精密工学会誌. 1990, 56,6, 130
• 単学伝. ミリスケールSTMの開発. 日本機械学会論文集(C編). 1992, 58,546, 425
• POHL, D. W. "Tracking" Tunneling Microscopy. Rev. Sci. Instrum. 1998, 59,6, 840
• PAROS, J. M. Flexure Pivots to Replace Knife Edge and Ball Bearing. Mach. Des. 1965, 37, 151

Terms in the title (5)： STM ,  超精密 ,  角度センサ ,  誤差解析 ,  ピッチング