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J-GLOBAL ID：200902101315012107   Reference number：98A0881231

High wear durability of ECR-sputtered carbon films.

ECRスパッタ炭素膜の高耐摩耗性

Author (5)： HIRONO S (NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN) ,  UMEMURA S (NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN) ,  ANDOH Y (NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN) ,  HAYASHI T (NTT Integrated Information & Energy Systems Lab., Tokyo, JPN) ,  KANEKO R (Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
Material： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Trans Magn)
Volume： 34  Issue： 4, Pt.1  Page： 1729-1731  Publication year： Jul. 1998 
JST Material Number： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron cyclotron resonance plasma ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence

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JST classification (1)： Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Terms in the title (3)： スパッタ ,  炭素膜 ,  高耐摩耗性