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J-GLOBAL ID：200902101358742630   Reference number：01A0673015

浮遊パーティクルの計測 原液スラリーの測定例 スラリー用粒子カウンターKS-71

Author (1)： TSUDA NAOKI (リオン)
Material： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
Volume： 11  Issue： 6  Page： 15-17  Publication year： Jun. 01, 2001 
JST Material Number： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *slurry ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 浮遊 ,  パーティクル ,  計測 ,  スラリー ,  粒子カウンター