Art

J-GLOBAL ID：200902101557893353   Reference number：01A0386880

Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation.

線形走査およびパターン生成のための大偏向マイクロメカニカル反射鏡

Author (7)： SCHENK H (Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU) ,  DUERR P (Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU) ,  HAASE T (Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU) ,  KUNZE D (Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU) ,  SOBE U (Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU) ,  LAKNER H (Fraunhofer Inst. for Microelectronics Circuits and Systems, Dresden, DEU) ,  KUECK H (Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
Material： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE J Sel Top Quantum Electron)
Volume： 6  Issue： 5  Page： 715-722  Publication year： Sep. 2000 
JST Material Number： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *reflecting mirror ,...
Semi thesaurus term： マイクロメカニカル反射鏡

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JST classification (1)： Optical devices in general  (BD06010L)

Terms in the title (6)： 線形 ,  走査 ,  パターン生成 ,  偏向 ,  マイクロ ,  反射鏡