Art

J-GLOBAL ID：200902102545521031   Reference number：98A0852207

Progress in 193nm top surface imaging process development.

193nm表面イメージング・プロセス開発における進捗

Author (9)： HUTCHINSON J (Intel Corp., CA) ,  RAO V (Intel Corp., CA) ,  ZHANG G (Intel Corp., CA) ,  PAWLOSKI A (Intel Corp., CA) ,  FONSECA C (Intel Corp., CA) ,  HOLL S (Intel Corp., CA) ,  DAS S (Intel Corp., CA) ,  HENDERSON C (Sandia National Lab., CA) ,  WHEELER D (Sandia National Lab., CA)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3333  Issue： Pt.1  Page： 165-175  Publication year： 1998 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： イメージング ,  プロセス ,  開発