Art

J-GLOBAL ID：200902102873005997   Reference number：94A0409085

電極上の電流分布の均一化について

Author (3)： DEGUCHI KATSUHIKO (武蔵工大) ,  YOKOI TOSHIAKI (武蔵工大) ,  MATSUMOTO SHIGEOMI (武蔵工大)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 88th  Page： 107-108  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (2)： 電流分布 ,  均一化