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J-GLOBAL ID：200902104185822232   Reference number：99A0581401

Amorphous and microcrystalline hydrogenated GaN films prepared by Remote-plasma MOCVD.

リモートプラズマMOCVD法によるGaN:H膜の作製 (1) 非晶質及び微結晶膜

Author (1)： YAGI SHIGERU (富士ゼロックス)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 59th  Issue： 2  Page： 848  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： リモートプラズマ ,  MOCVD ,  GaN ,  作製 ,  非晶質 ,  微結晶