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J-GLOBAL ID：200902105158961421   Reference number：98A0511152

Microstructure and electrical properties of vanadium-added ITO films.

バナジウム添加ITO膜の微構造と電気特性

Author (6)： SUZUKI MASAKAZU (東京工芸大 大学院) ,  MAEDA YORIKO (東京工芸大 工) ,  MURAOKA MASAHIRO (東京工芸大 工) ,  SEKI SHIGEYUKI (東京工芸大 大学院) ,  SAWADA YUTAKA (東京工芸大 工) ,  MATSUSHITA JUN'ICHI (東海大 工)
Material： 東京工芸大学工学部紀要  (Academic Reports. the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University)
Volume： 20  Issue： 1(1997)  Page： 46-51  Publication year： Jan. 1998 
JST Material Number： X0092A  ISSN： 0387-6055  CODEN： TOKIDC  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *tin oxide ,...
Semi thesaurus term： ITO(solid solution)

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (3)： バナジウム ,  ITO膜 ,  電気特性