Art

J-GLOBAL ID：200902105438548236   Reference number：98A0784436

Study on Thermal Analysis Using Microheater.

マイクロヒータを使った熱解析に関する研究

Author (3)： HAYASAKA J (Tohoku-Gakuin Univ., Miyagi, JPN) ,  SAWAI C (Tohoku-Gakuin Univ., Miyagi, JPN) ,  KIMURA M (Tohoku-Gakuin Univ., Miyagi, JPN)
Material： Technical Digest of the Sensor Symposium  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 16th  Page： 111-114  Publication year： Jun. 1998 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *temperature sensor ,...

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JST classification (2)： Thermometry,thermometer  (AD06010K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： マイクロヒータ ,  熱解析 ,  研究