Art

J-GLOBAL ID：200902106205653257   Reference number：99A0979377

Chemical Vapor Cleaning of 6H-SiC Surfaces.

6H-SiC表面の化学的蒸気クリーニング

Author (6)： KING S W (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  KERN R S (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  BENJAMIN M C (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  BARNAK J P (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  NEMANICH R J (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  DAVIS R F (North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 146  Issue： 9  Page： 3448-3454  Publication year： Sep. 1999 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon carbide ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0979377&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0285A") }}

JST classification (2)： Surface structure of semiconductors  (BK15030A) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Ethylene

Terms in the title (4)： 6H-SiC ,  化学 ,  蒸気 ,  クリーニング