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J-GLOBAL ID：200902106212829891   Reference number：98A0005086

Advances in Selective Wet Oxidation of AlGaAs Alloys.

AlGaAs合金の選択湿式酸化の発展

Author (9)： CHOQUETTE K D (Sandia National Lab., NM, USA) ,  GEIB K M (Sandia National Lab., NM, USA) ,  ASHBY C I H (Sandia National Lab., NM, USA) ,  TWESTEN R D (Sandia National Lab., NM, USA) ,  BLUM O (Sandia National Lab., NM, USA) ,  HOU H Q (Sandia National Lab., NM, USA) ,  FOLLSTAEDT D M (Sandia National Lab., NM, USA) ,  HAMMONS B E (Sandia National Lab., NM, USA) ,  HULL R (Univ. Virginia, VA, USA)
Material： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE J Sel Top Quantum Electron)
Volume： 3  Issue： 3  Page： 916-926  Publication year： Jun. 1997 
JST Material Number： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： aluminum gallium arsenide ,...
Semi thesaurus term： VCSEL

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (4)： AlGaAs ,  合金 ,  湿式酸化 ,  発展