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J-GLOBAL ID：200902106216321418   Reference number：00A0734678

半導体製造プロセス用セラミック部品の開発と事業化

Author (5)： MIZUTANI TAKAYOSHI (日本碍子) ,  MIZUNO TAKEYUKI (日本碍子) ,  USHIKOSHI RYUSUKE (日本碍子) ,  KOBAYASHI HIROMICHI (日本碍子) ,  WATANABE KEIICHIRO (日本碍子)
Material： Fine Ceramics Report  (FC Report)
Volume： 18  Issue： 7  Page： 152-156  Publication year： Jul. 20, 2000 
JST Material Number： L0506A  ISSN： 0911-5269  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor process ,...

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JST classification (2)： Ceramics and ceramic whiteware in general  (YC03010K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 半導体製造プロセス ,  セラミック ,  開発 ,  事業