Art
J-GLOBAL ID：200902106368868285
Reference number：00A0123705
Micropattern Fabrication by Specially Designed Micro Tool.
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Author (2)：
,
Material：
Volume：
3874
Page：
365-372
Publication year：
1999
JST Material Number：
D0943A
ISSN：
0277-786X
CODEN：
PSISDG
Document type：
Proceedings
Country of issue：
United States (USA)
Language：
ENGLISH (EN)
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