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J-GLOBAL ID：200902106860677436   Reference number：02A0267389

Effects of annealing and poling conditions on piezoelectric properties of Pb(Zr_0.52,Ti_0.48)O₃ thick films formed by aerosol deposition method.

エーロゾル堆積法によって形成したPb(Zr_0.52,Ti_0.48)O₃厚膜のピエゾ電気特性に及ぼすアニーリングおよびびポーリング条件の効果

Author (2)： AKEDO J (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  LEBEDEV M (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 235  Issue： 1/4  Page： 415-420  Publication year： Feb. 2002 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： aerosol (suspended solids) ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

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JST classification (2)： Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (7)： エーロゾル堆積法 ,  Pb ,  O3 ,  厚膜 ,  ピエゾ電気 ,  アニーリング ,  ポーリング