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J-GLOBAL ID：200902106938722174   Reference number：95A0825768

Optical Encoder Using Modulated Pitch Grating. (1st Report). Experimental Evaluation.

変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ (第1報) 実験的評価

Author (4)： IEKI ATSUSHI (オークマ) ,  MATSUI KEIJI (オークマ) ,  NASHIKI MASAYUKI (オークマ) ,  HANE KAZUHIRO (東北大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 61  Issue： 9  Page： 1312-1316  Publication year： Sep. 1995 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： position measurement ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (6)：

• 立澤寛. 精密位置決め技術,第4章. 1989
• CHITNIS, V. T. Moire Signals in Reflection. Opt. Commun. 1985, 54, 207
• 小尾勝俊. レ-ザロ-タリ-エンコ-ダ. センサ技術. 1993, 13,13, 18
• 森山茂夫. 回析格子を用いた精密変位検出法. 昭和57年度精機学会春季大会学術講演会論文集. 1982, 234
• TEIMEL, A. Technology and Applications of Grating Interferometers in High-precision Measurement. Prec. Engg. 1992, 14, 147

Terms in the title (6)： 変調 ,  周期 ,  回折格子 ,  光学式エンコーダ ,  実験 ,  評価