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J-GLOBAL ID：200902107789496650   Reference number：00A0370763

Si-L_2,3 soft X-ray emission spectra by quantitative analysis of silicides/Si system: simulation and experiment.

シリサイド/Si系の定量分析によるSi-L_2、3軟X線放射スペクトル シミュレーションと実験

Author (4)： KINOSHITA A (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  HIRAI M (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  KUSAKA M (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  IWAMI M (Okayama Univ., Okayama, JPN)
Material： Journal of Surface Analysis  (JSA)
Volume： 5  Issue： 1  Page： 86-89  Publication year： Feb. 1999 
JST Material Number： L3852A  ISSN： 1341-1756  CODEN： JSANFX  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： シリサイド ,  Si ,  定量分析 ,  軟X線 ,  放射スペクトル ,  シミュレーション ,  実験