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J-GLOBAL ID：200902107961608512   Reference number：93A0320666

Computer Simulation of Plasma Etching. An Approach by Computer-aided Nonequilibrium Plasma Physics.

プラズマエッチングのコンピュータシミュレーション 計算(非平衡)プラズマ物理からのアプローチ
Author (2)：
MAKABE TOSHIAKI

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(慶応大 理工)

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NAKANO NOBUHIKO

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(慶応大 理工)

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Material：
プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)

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Volume： 69  Issue： 1  Page： 15-26  Publication year： Jan. 1993 
JST Material Number： G0114A  ISSN： 0918-7928  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
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