Art

J-GLOBAL ID：200902108122491690   Reference number：94A0234813

Fabrication of field effect transistors made of polycrystalline diamond films.

Author (5)： NISHIMURA K (Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN) ,  KOYAMA H (Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN) ,  MIYATA K (Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN) ,  SUZUKI K (Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN) ,  KOBASHI K (Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN)
Material： Proceedings of the 3rd International Symposium on Diamond Materials, 1993  (Proc 3rd Int Symp Diam Mater 1993)
Page： 940-946  Publication year： 1993 
JST Material Number： K19940189  ISBN： 1-56677-060-2  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)