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J-GLOBAL ID：200902108454067638   Reference number：02A0200584

半導体露光装置の開発

Author (1)： ATSUMI SHINOBU (ニコン)
Material： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 41  Issue： 1  Page： 8-12  Publication year： Jan. 10, 2002 
JST Material Number： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *exposure(photography) ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (3)：

• 1) 滝川忠広 (編集代表): ULSIリソグラフィ技術の革新, 第1章第1節, 超解像技術, サイエンスフォーラム社 (1994)
• 2) 現代情報工学研究会: ニコンの技術者集団, ダイヤモンド社 (1985)
• 3) 四方智: NSRシステム (縮小投影露光装置), オートメーション, 28-7, 日刊工業新聞社 (1983)

Terms in the title (2)： 露光装置 ,  開発