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J-GLOBAL ID：200902110062266289   Reference number：96A0018047

Increase of Current Density of the Electron Probe by Correction of the Spherical Aberration with a Side-Entry Type Foil Lens.

サイドエントリータイプ箔レンズを用いた球面収差補正による電子プローブ電流密度の増加

Author (3)： HANAI T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ARAI S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HIBINO M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Journal of Electron Microscopy  (電子顕微鏡学会誌)
Volume： 44  Issue： 5  Page： 301-306  Publication year： Oct. 1995 
JST Material Number： G0104A  ISSN： 0022-0744  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron lens ,...

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JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Reference (8)：

• SCHERZER, O. Spharische und chromatische Korrektur von Elektronen-Linsen. Optik. 1947, 2, 114-132
• GIANOLA, UF. The correction of the spherical aberration of electron lenses using a correcting foil element. Proc Phys Soc Lond. 1950, 63B, 1037-1039
• MARUSE, S. korrektur vom Offnungsfehler der Elektronenlinse. Jpn J Appl Phys. 1970, 9, 1549-1550
• HIBINO, M. Characteristics of the foil lens for correction of the spherical aberration of the strongly excited magnetic lens. J Electron Microsc. 1978, 27, 259-265
• HANAI, T. Reduction of the probe diameter through the correction of spherical aberration by the foil lens. J Electron Microsc. 1984, 33, 329-334

Terms in the title (7)： エントリー ,  タイプ ,  箔 ,  レンズ ,  球面収差補正 ,  電子プローブ ,  電流密度