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J-GLOBAL ID：200902110097466400   Reference number：94A0179443

Microfabrication of Small Field Emitters by Focused Ion Beams with Metal Oxide Resists.

酸化物レジストを用いた集束イオンビーム露光による微小電界放出電子源の試作

Author (6)： OTAKE TOSHIYA (京大 工) ,  UEDA HIDEAKI (京大 工) ,  INOUE KAZUNORI (京大 工) ,  GOTO YASUHITO (京大 工) ,  TSUJI HIROSHI (京大 工) ,  ISHIKAWA JUNZO (京大 工)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 54th  Issue： 2  Page： 541  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： 酸化物 ,  レジスト ,  集束イオンビーム ,  露光 ,  微小 ,  試作