Art

J-GLOBAL ID：200902110711541251   Reference number：00A0627315

Development of Thin Film Thickness Monitor System. Realization of In-line Semiconductor Process Sensor.

LED式膜厚センサの開発 IN-LINE型半導体プロセスセンサの実現

Author (3)： EGAWA KOICHI (オムロン) ,  TSUBAKIZAKA MASAZUMI (オムロン) ,  KUROKAWA MASAHIRO (オムロン)
Material： Omron Technics  (Omron Tech)
Volume： 40  Issue： 2  Page： 155-159  Publication year： Jun. 20, 2000 
JST Material Number： S0266A  ISSN： 0474-1315  CODEN： OMTKA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *film thickness ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (5)： LED ,  膜厚 ,  開発 ,  LINE ,  半導体プロセス