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J-GLOBAL ID：200902111113257650   Reference number：02A0306926

Comparison of wear characteristics of etched-silicon and carbon nanotube atomic-force microscopy probes.

エッチしたシリコンおよび炭素ナノチューブ原子間力顕微鏡プローブの摩耗特性の比較

Author (6)： LARSEN T (PIEZOMAX Technol., Inc., Wisconsin) ,  MOLONI K (PIEZOMAX Technol., Inc., Wisconsin) ,  FLACK F (Univ. Wisconsin-Madison, Wisconsin) ,  ERIKSSON M A (Univ. Wisconsin-Madison, Wisconsin) ,  LAGALLY M G (Univ. Wisconsin-Madison, Wisconsin) ,  BLACK C T (IBM T.J. Watson Res. Center, New York)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 80  Issue： 11  Page： 1996-1998  Publication year： Mar. 18, 2002 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...

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JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (6)： エッチ ,  シリコン ,  炭素ナノチューブ ,  原子間力顕微鏡 ,  プローブ ,  摩耗特性