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J-GLOBAL ID：200902111142582862   Reference number：00A0992525

干渉測定による一次元ボールプレートの値付け

Author (4)： OSAWA TAKAMITSU (計量研) ,  TAKATSUJI TOSHIYUKI (計量研) ,  KUROSAWA TOMIZO (計量研) ,  NOGUCHI HIRONORI (計量研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2000  Issue： 春季  Page： 616  Publication year： Mar. 22, 2000 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 干渉測定 ,  ボール ,  値付け