Art

J-GLOBAL ID：200902111293552396   Reference number：94A0451190

Mechanism of Maskless Buried Epitaxy by Digital Epitaxy.

デジタルエピタキシによるマスクレス埋め込み成長のメカニズム

Author (3)： NAKAJI MOTONARI (工学院大) ,  TAKAHASHI ICHIRO (工学院大) ,  KAWANISHI HIDEO (工学院大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 41st  Issue： Pt 1  Page： 285  Publication year： Mar. 1994 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： デジタル ,  エピタキシ ,  マスクレス ,  埋め込み ,  成長 ,  メカニズム