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J-GLOBAL ID：200902111319279200   Reference number：99A0782711

New Functional Ceramic Deposition Method for MEMS.

MEMSのための新しい機能性セラミック堆積法

Author (3)： AKEDO J (S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  ICHIKI M (S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
Material： Ferroelectrics
Volume： 224  Issue： 1/4  Page： 759-765  Publication year： Mar. 1999 
JST Material Number： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： MEMS ,  機能性セラミック ,  堆積