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J-GLOBAL ID：200902112153570862   Reference number：00A0088803

Imaging Optics for Extreme Ultraviolet Rays.

極端紫外光と結像光学系

Author (4)： NAGAI KOMEI (オリンパス販売) ,  MOCHIMARU SHOICHIRO (オリンパス光学工業) ,  IKETAKI YOSHINORI (オリンパス光学工業) ,  HORIKAWA YOSHIAKI (オリンパス光学工業)
Material： 光学  (Japanese Journal of Optics)
Volume： 28  Issue： 12  Page： 664-669  Publication year： Dec. 10, 1999 
JST Material Number： G0125B  ISSN： 0389-6625  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum ultraviolet radiation ,...

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JST classification (2)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K) ,  Image formation and analysis  (BD03050I)

Reference (20)：

• 常田佐久. 宇宙X線望遠鏡. 光学. 1999, 28, 363-371
• 木下博雄. X線縮小リソグラフィー. 光学. 1994, 23, 614-619
• 木下勝之. X線顕微鏡. O plus E. 1994, 6, 75-81
• HORIKAWA, Y. Resolution of annular-pupil optical systems. J. Opt. Soc. Am. A. 1994, 11, 1985-1992
• STIGLIANI, D. J. Jr. Resolving power of a zone plate. J. Opt. Soc. Am. 1967, 57, 610-613

Terms in the title (2)： 極端紫外光 ,  結像光学系