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J-GLOBAL ID：200902112470475956   Reference number：00A0976901

Technology Alliance on the Semiconductor Measurement. Full Automatic Spectroscopic Ellipsometer UT-300. Example of the Multilayer Analysis.

テクノロジーアライアンス半導体計測 全自動超薄膜計測システムUT-300 Part3 多層膜解析の実例

Author (4)： HIRAKAWA SEIICHI (愛宕物産) ,  GABAIN N N (愛宕物産) ,  WASAI YOKO (愛宕物産) ,  IIDA HIROSHI (愛宕物産)
Material： Readout  (Horiba Technical Reports)
Issue： 21  Page： 26-30  Publication year： Sep. 20, 2000 
JST Material Number： L0745A  ISSN： 0915-9916  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ellipsometry ,...

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JST classification (2)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  Polarimetry and polarimeters  (BD07050K)

Terms in the title (7)： テクノロジー ,  アライアンス ,  計測 ,  超薄膜 ,  計測システム ,  多層膜 ,  解析