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J-GLOBAL ID：200902112760466616   Reference number：97A0607597

Silicon carbide on insulator formation by the Smart-Cut process.

スマートカットプロセスによる絶縁体上への炭化けい素の形成

Author (6)： DI CIOCCIO L (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  LETERTRE F (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  LE TIEC Y (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  PAPON A M (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  JAUSSAUD C (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  BRUEL M (CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
Material： Materials Science & Engineering. B. Solid-State Materials for Advanced Technology  (Mater Sci Eng B)
Volume： B46  Issue： 1/3  Page： 349-356  Publication year： Apr. 1997 
JST Material Number： T0553A  ISSN： 0921-5107  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon carbide ,...

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JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (2)： 絶縁体 ,  炭化けい素