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J-GLOBAL ID：200902113076512605   Reference number：01A0559106

ここまで来た成膜技術 RF Sputter技術の現状と展望

Author (1)： FURUYA AKINORI (NTT サイバースペース研)
Material： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
Volume： 39  Issue： 5  Page： 313-324  Publication year： May. 20, 2001 
JST Material Number： S0624A  ISSN： 0913-7289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *RF sputtering ,...

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JST classification (1)： Optical communication systems and equipment  (ND10000B)

Terms in the title (4)： 成膜 ,  RF ,  現状 ,  展望