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J-GLOBAL ID：200902113268795376   Reference number：99A0730446

Research and Development for the 21st Century. CMOS Scaling beyond 0.1μm.

21世紀に向けた研究開発 サブ0.1μmCMOS技術

Author (3)： SUGII TOSHIHIRO (富士通研) ,  GOTO KEN'ICHI (富士通研) ,  MOMIYAMA YOICHI (富士通研)
Material： Fujitsu
Volume： 50  Issue： 4  Page： 247-252  Publication year： Jul. 09, 1999 
JST Material Number： F0397A  ISSN： 0016-2515  CODEN： FUJTA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *LSI ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 21世紀 ,  研究 ,  開発 ,  サブ