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J-GLOBAL ID：200902113383227497   Reference number：98A0808959

反応性真空アーク放電を用いたアナターゼ型結晶TiO₂膜のas-deposit生成

Author (3)： SASAOKA TAKESHI (豊橋技科大) ,  TAKIKAWA HIROSHI (豊橋技科大) ,  SAKAKIBARA TATSUKI (豊橋技科大)
Material： 電気関係学会東海支部連合大会講演論文集  (Record of Tokai-Section Joint Conference of the Six Institute of Electrical and Related Engineers)
Volume： 1996  Page： 5  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： L1634A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 反応性 ,  真空アーク ,  放電 ,  アナターゼ型結晶 ,  TiO2