Art

J-GLOBAL ID：200902113462549548   Reference number：95A0899300

Decapitation of tungsten field emitter tips during sputter sharpening.

スパッター先鋭化によるタングステン電界エミッタチップの断頭

Author (5)： SCHILLER C (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  KOOMANS A A (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  VAN ROOY T L (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  SCHOENENBERGER C (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  ELSWIJK H B (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
Material： Surface Science  (Surface Science Letters)
Volume： 339  Issue： 3  Page： L925-L930  Publication year： Oct. 01, 1995 
JST Material Number： C0129B  ISSN： 0039-6028  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Tungsten ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0899300&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0129B") }}

JST classification (1)： Thermoionic emission and field emission  (BM09020S)

Terms in the title (5)： スパッター ,  先鋭化 ,  タングステン ,  電界エミッタ ,  断頭