Art

J-GLOBAL ID：200902113636289869   Reference number：98A0789500

Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors.

真空シールされたシリコンのマイクロマシン加工圧力センサ

Author (5)： ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SUGIYAMA S (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  IKEDA K (Yokogawa Electric Corp., Nagano, JPN) ,  WANG Y (Zhejian Univ., Hangzhou, CHN) ,  MIYASHITA H (Anelva Corp., Yamanashi, JPN)
Material： Proceedings of the IEEE  (Proc IEEE)
Volume： 86  Issue： 8  Page： 1627-1639  Publication year： Aug. 1998 
JST Material Number： D0378A  ISSN： 0018-9219  CODEN： IEEPAD  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0789500&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0378A") }}

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Terms in the title (4)： 真空シール ,  シリコン ,  マイクロマシン加工 ,  圧力センサ