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J-GLOBAL ID：200902114146136440   Reference number：01A0256050

精密・超精密位置決めの現状と将来予想

Author (3)： OTSUKA JIRO (静岡理工科大) ,  HAYAMA SADAJI (羽山技術士事務所) ,  OHASHI YASUJI (ケーエスエス)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 2  Page： 173-178  Publication year： Feb. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *position control ,...

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JST classification (2)： Precision machines in general  (QF01000M) ,  Control equipment in general  (IC02010N)

Reference (27)：

• 白石昌武. 超精密位置決めにおける文献とアンケート調査. 精密工学会誌. 2000, 66, 6, 799
• 日本精工(株)精機技術センター. 第19回工作機械見本市(JIMTOF98)レポート. 1998
• TANIGUCHI, N. Nanotechnology. 1996, 1
• 朴天弘. 韓国の精密位置決め事情. 精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会前刷集. 1996, 1, 1
• RO, Paul. I. Ultraprecidion Positioning Trends and Highlght in the United States. 精密式学会超精密位置決め専門委員会定例会前刷集. 1998, 1, 1

Terms in the title (4)： 精密位置決め ,  現状 ,  将来 ,  予想