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J-GLOBAL ID：200902114671708552   Reference number：98A0482379

LSI Evaluation and Analysis Technology. Logic LSI Failure Analysis Technology. Automatic Fault Tracing Method with Electron Beam Tester for Logic LSIs.

LSIの評価と解析技術 ロジックLSIの故障・不良解析技術 電子ビームテスタを用いたロジックLSIの自動故障箇所トレース法

Author (2)： WADA SHIN'ICHI (NEC デバイス分析評価技セ) ,  NAKAMURA TOYOKAZU (NEC デバイス分析評価技セ)
Material： NEC技報  (NEC Technical Journal)
Volume： 50  Issue： 6  Page： 21-31  Publication year： Jul. 1997 
JST Material Number： G0475B  ISSN： 0285-4139  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *LSI ,...
Semi thesaurus term： SEM ,...

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JST classification (2)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  General  (NC03161C)

Terms in the title (10)： LSI ,  評価 ,  解析 ,  ロジック ,  故障 ,  不良解析 ,  電子ビーム ,  テスタ ,  箇所 ,  トレース