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J-GLOBAL ID：200902115035183586   Reference number：99A0974455

誘電体バリア放電エキシマランプを用いた酸化物薄膜の作成

Author (9)： NOMURA RYO (宮崎大 工) ,  NISHI KOTA (宮崎大 工) ,  MAEZONO YOSHINARI (宮崎大 工) ,  KAWASAKI YASUHIRO (宮崎大 工) ,  MIYANO JUN'ICHI (宮崎マシンデザイン) ,  YOKOTANI ATSUSHI (宮崎大 工) ,  KUROSAWA KO (宮崎大 工) ,  MATSUNO HIROMITSU (ウシオ電機) ,  IGARASHI RYUJI (ウシオ電機)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 60th  Issue： 2  Page： 519  Publication year： Sep. 01, 1999 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 誘電体バリア放電 ,  エキシマランプ ,  酸化物薄膜