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J-GLOBAL ID：200902117082616507   Reference number：99A0202810

Low Temperature High Density Nucleation of Diamond in Hot Filament Chemical Vapour Deposition.

熱フィラメント・気相成長によるダイヤモンドの低温高密度核生成

Author (3)： NAKAI YASUO (大同工大) ,  HAYAKAWA KENJI (大同工大) ,  SAHASHI TOSHIO (大同工大)
Material： 大同工業大学紀要  (Bulletin of Daido Institute of Technology)
Volume： 34  Page： 73-79  Publication year： Dec. 1998 
JST Material Number： Z0741A  ISSN： 0285-5372  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Diamond ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： 気相成長 ,  ダイヤモンド ,  低温 ,  高密度 ,  核生成