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J-GLOBAL ID：200902117111682107   Reference number：01A0963484

Investigation of laser via formation technology for the manufacturing of high density substrates.

高密度基板作製用のレーザバイアホール形成技術

Author (3)： ZHENG H (Gintic Inst. Manufacturing Technol., Singapore, SGP) ,  GAN E (Gintic Inst. Manufacturing Technol., Singapore, SGP) ,  LIM G C (Gintic Inst. Manufacturing Technol., Singapore, SGP)
Material： Optics and Lasers in Engineering  (Opt Lasers Eng)
Volume： 36  Issue： 4  Page： 355-371  Publication year： Oct. 2001 
JST Material Number： A0602B  ISSN： 0143-8166  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *printed board ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Terms in the title (3)： 作製 ,  レーザ ,  バイアホール