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J-GLOBAL ID：200902117293607300   Reference number：94A0595167

Development of Silicon Acoustic Lens for SAM by Micromachining. 2nd Report, Development of 1GHz Lens for Use at Room Temperature.

マイクロマシニングによる超音波顕微鏡用シリコン音響レンズの開発 第2報,室温観察用1GHzレンズの開発

Author (5)： HASHIMOTO HISAYOSHI (日立建機 技研) ,  TANAKA SHINJI (日立 機械技研) ,  SATO KAZUO (日立 機械技研) ,  ISHIKAWA ISAO (日立建機) ,  CHUBACHI NORIYOSHI (東北大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 60  Issue： 574  Page： 2164-2170  Publication year： Jun. 1994 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ultrasonic wave ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy

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JST classification (2)： Acoustooptical effects  (BM08030W) ,  Optical instrument elements and their materials  (QF05020K)

Reference (8)：

• (1)中鉢,応用物理,47-4(1978), 356.
• (2)Quate, C. F., Atalar, A. and Wickramasinghe, H. K., Proc. IEEE, 67-8(1979), 1092.
• (3)久保田,応用光学,(1959), 142, 岩波全書.
• (4)Hashimoto, H., Tanaka, S. and Sato, K., Tech. Digest of TRANSDUCERS'91, (1991), 853, San Francisco.
• (5)Hashimoto, H.,ほか5名, Jpn, J. Appl. Phys., Vol. 32(1993), 2543.

Terms in the title (8)： マイクロマシニング ,  超音波顕微鏡 ,  シリコン ,  音響レンズ ,  開発 ,  室温 ,  観察 ,  レンズ