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J-GLOBAL ID：200902118523756640   Reference number：99A0141323

Some problems for understanding the growth mechanism in thin films of metal oxides.

金属酸化物薄膜の成長機構解明のための課題

Author (2)： MAKI KUNISUKE (横浜市大 理) ,  OGAWA KOJI (横浜市大 理)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 67  Issue： 12  Page： 1383-1389  Publication year： Dec. 1998 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *epitaxy ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (35)：

• 1) 本庄五郎,八木克道;薄膜・微粒子の構造と物性,金属物性基礎講座, 14巻 p. 25 (丸善, 1974).
• 2) J. A. Venables, G. D. T. Spiller and Hanbucken: Rep. Prog. Phys. 47, 399 (1984).
• 3) 贋村誠男;日本結晶成長学会誌 23, 324 (1996), 前網康二:表薗 31, 698 (1993). F. E. Ejeckam, Y. H. Lo, S. Subramanian, H. Q. Hou and B. E. Hammons: Appl. Phys. Lett. 70, 1685 (1997).
• 4) 宮澤信太郎,向田畠志;応用物理 64, 1097 (1995). 向田昌志;固体物理 32, 663 (1997).
• 5) 川崎雅司,高橋和浩,鯉沼秀臣;応用物理 64, 1124 (1995).

Terms in the title (2)： 金属酸化物薄膜 ,  成長