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J-GLOBAL ID：200902119203216903   Reference number：01A0448800

Preparation of electrically conductive diamond-like carbon films using i-C₄H₁₀/N₂ supermagnetron plasma.

i-C₄H₁₀/N₂スーパーマグネトロンプラズマを用いた電気伝導性ダイヤモンド状カーボン薄膜の調製

Author (3)： KINOSHITA H (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  HANDO T (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  YOSHIDA M (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 89  Issue： 5  Page： 2737-2741  Publication year： Mar. 01, 2001 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Isobutane

Terms in the title (5)： N2 ,  電気伝導性 ,  ダイヤモンド状カーボン ,  薄膜 ,  調製